- легирование методом ионного внедрения
- ion-implanted doping
Русско-английский политехнический словарь. Академик.ру. 2011.
Русско-английский политехнический словарь. Академик.ру. 2011.
Микроэлектроника — область электроники (См. Электроника), занимающаяся созданием электронных функциональных узлов, блоков и устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. Возникновение М. в начале 60 х гг. 20 в. было вызвано непрерывным усложнением… … Большая советская энциклопедия